硅基微型顯示是融合了半導(dǎo)體制造技術(shù)的新型顯示技術(shù),具有高分辨率、高集成度、低功耗、體積小、重量輕等優(yōu)勢。隨著應(yīng)用市場對智能眼鏡、夜視儀、VR/AR等近眼顯示精度要求越來越高,硅基微型顯示掀起顯示行業(yè)的新浪潮。
在硅基微型顯示領(lǐng)域,北方華創(chuàng)自主研發(fā)的等離子刻蝕機、等離子增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、立式氧化/退火爐和清洗機設(shè)備,能夠為客戶提供專業(yè)的設(shè)備和工藝解決方案。